电子气体行业的主要技术壁垒包括:
(1)提纯技术难度大。电子气体纯度往往要求(5N-6N)级别,而金属离子要求10-9~10-12级。 气体纯化技术主要有吸附法、精馏法、膜分离法,其中精馏法应用为广泛。精馏法可分为连续精馏法和间歇精馏法,连续精馏法操作稳定,并且得到的气体产品纯度较高,质量好。吸附法分为变压吸附法和变温吸附法,与变压吸附法相比,电子特种气体,变温吸附法能耗较高、吸附量小,再生需要加热介质,吸附剂寿命较短。膜分离法为一种新型的高分离、浓缩提纯及净化技术。
(2)气体输送,充装,和储运。超高纯电子气体的生产和使用需要高质量的钢瓶等储运容器,特种气体厂,对气体输送管线、阀门和接口要求十分严格,以避免二次污染。随着气体纯度的提高、产品种类的增多,对包装容器的要求也越来越高,
(3)分析检测与质量控制。超高纯电子气需要对ppm(10-6)至ppb(10-9)级别的杂质进行分析,金属离子更是要求检测线达到ppb(10-9)至ppt(10-12)。
在半导体制造过程中涉及的材料众多,在半导体集成电路的生产过程中,从芯片生长到后器件的封装,几乎每一步、每一个环节都离不开电子特种气体,唐山特种气体,因此电子特种气体被称为半导体材料的“粮食”和“源”。半导体特种气体的下游是半导体晶圆制造厂商,终下游市场是智能手机、平板电脑、物联网、人工智能硬件等构成的电子产品市场。近年来,除了以智能手机、平板电脑为代表的新兴智能电子产品带来的巨大的出货量,更加前沿的高科技领域如物联网和人工智能越来越成为主流趋势。
电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业,由于所用气体的品种多、质量要求高,为有别于其它领域应用的气体,人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体,它是当今兴起的高技术含量、高投人、高附加值的高新技术产业 电子气体的应用领域主要在半导体集成电路生产制造、非晶硅太阳能电池、液晶显 示器件、光导纤维生产四大领域,其中主要应用于半导体集成电路的生产。半导体工业用气体的特点是品种多、质量要求高、用量少,大部分是有毒或腐蚀性气体。
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